| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING APPEARANCE AND METHOD FOR REMOVING CAUSE OF ABNORMALITY IN PRODUCT MANUFACTURING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02287241(A) |
申请公布日期 |
1990.11.27 |
| 申请号 |
JP19890107608 |
申请日期 |
1989.04.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KIYASU CHIYA;NINOMIYA TAKANORI |
| 分类号 |
G01N21/84;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;G06F9/44;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/84 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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