| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0197284(A3) |
申请公布日期 |
1988.09.14 |
| 申请号 |
EP19860102654 |
申请日期 |
1986.02.28 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
ARAKAWA, HIDEKI FUJITSU LTD PATENT DEPT. |
| 分类号 |
H01L27/115;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/60;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L27/115 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
