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发明名称 PROCESS FOR THERMO-OXYDATION OF SILICON
摘要
申请公布号 YU6182(A) 申请公布日期 1985.06.30
申请号 YU19820000061 申请日期 1982.01.12
申请人 ELEKTR INDUSTR RO TV ELEKTR-OOUR FARB POLUPROVODNIKA 发明人 MLADENOVIC LJ.;PETKOVIC M.D.;PETKOVIC M D
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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