发明名称 METHOD AND DEVICE FOR REGENERATION OF CHEMICAL COPPER PLATING SOLUTION
摘要
申请公布号 JPS5732360(A) 申请公布日期 1982.02.22
申请号 JP19800107739 申请日期 1980.08.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 KIKUCHI HIROSHI;OKA HITOSHI;YOKONO ATARU;SUZUKI HARUO;YOSHIMURA TOYOFUSA;MATSUO AKIRA;MIYAZAWA OSAMU;TANAKA ISAMU;ISOGAI TOKIO
分类号 C23C18/16;B01D61/44;C23C18/31;C23C18/40 主分类号 C23C18/16
代理机构 代理人
主权项
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