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发明名称 METHOD OF MAKING ALLOYED METAL CONTACT LAYERS ON INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0076570(A3) 申请公布日期 1984.09.26
申请号 EP19820304637 申请日期 1982.09.03
申请人 ITT INDUSTRIES INC.;DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH 发明人 HEINECKE, RUDOLF AUGUST HERBERT
分类号 H01L21/3205;C23C14/48;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3215;H01L23/52;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/26 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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