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发明名称
摘要
申请公布号 JPS597230(B2) 申请公布日期 1984.02.17
申请号 JP19760002657 申请日期 1976.01.12
申请人 TEII DEII KEI KK 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 H01L21/316;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/31;H01L21/8234;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/088;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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