Mobile extraction electrode for an ion source.

摘要

Electrode d'extraction mobile pour source d'ions. L'électrode (6) est munie de moyens mécaniques (10, 12, 14, 18) pour commander de l'extérieur de l'enceinte son déplacement, ces moyens comprenant deux systèmes aptes à déplacer indépendamment les deux côtés latéraux de l'écran, chacun de ces systèmes comportant un parallélogramme déformable (8) et un moyen (10) apte à commander la déformation dudit parallélogramme. Application aux implanteurs ioniques.