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发明名称 EVAPORATION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS5268384(A) 申请公布日期 1977.06.07
申请号 JP19750143984 申请日期 1975.12.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKUDAIRA SADAYUKI;SUZUKI KEIZOU;UEKI KAZUYOSHI;YAMAMOTO NAOKI
分类号 C23C14/26;H01B1/00;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L49/02 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
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