| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE LAYER BY CVD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU594727(B2) |
申请公布日期 |
1990.03.15 |
| 申请号 |
AU19860066322 |
申请日期 |
1986.12.09 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MASAAKI HIROOKA;SHUNICHI ISHIHARA;JUNICHI HANNA;ISAMU SHIMIZU |
| 分类号 |
G03G5/08;C23C16/24;C23C16/30;G03G5/082;(IPC1-7):G03G5/082;H01L21/205 |
主分类号 |
G03G5/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
