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发明名称 POLYSILICON THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05109772(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910293823 申请日期 1991.10.15
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 KATO SUKEJI;ASAI ICHIRO
分类号 H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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