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发明名称
ALDコーティングによる中空ボディ内面の保護
摘要
中空のボディの内面を保護する装置および方法であって、中空のボディの開口部に取り付け可能なポートアセンブリを備える吸排気マニホールドを設け、反応ガスを、ポートアセンブリおよび開口部を介して中空のボディの内面へと順次供給することで、中空のボディの内面を順次自己飽和表面反応に暴露し、不要なガス、開口部およびポートアセンブリを介して中空のボディから除去する。【選択図】図4A
申请公布号
JP2017507246(A)
申请公布日期
2017.03.16
申请号
JP20160549485
申请日期
2014.03.03
申请人
ピコサン オーワイPICOSUN OY
发明人
コスタモ ユハナ;マリネン ティモ
分类号
C23C16/455
主分类号
C23C16/455
代理机构
代理人
主权项
地址
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