SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME

摘要

본 발명의 실시 예에 따른 반도체 장치는 기판 상에 순차로 적층되고, 각각이 서로 교대로 적층된 층간 절연막들 및 도전 패턴들을 포함하는 N개(N은 2이상의 자연 수)의 적층 그룹들; 및 상기 적층 그룹들 각각의 상기 층간 절연막들 및 상기 도전 패턴들 내에 형성되고, 제1 방향을 따라 일렬로 배열된 N개의 계단형 홈들을 포함할 수 있다.