一种测序用微流控芯片的制备方法

摘要

本发明属于生物医学工程设备制造技术和相关器件领域，具体涉及一种测序用微流控芯片的制备方法。步骤1：取一单面抛光的基片；步骤2：以N,N‑二甲基甲酰胺水浴，水冲洗；吹片烘干；步骤3：在芯片抛光面上涂光刻胶，通过曝光在表面形成反应池图形；步骤4：使用干法刻蚀，形成反应池；步骤5：以N,N‑二甲基甲酰胺水浴，以硫酸双氧水混合溶液浸泡，水冲洗；步骤6：完成芯片的制备。本发明避免了杂质或者污物对测序反应的干扰，保证了测序的准确度和效率。

主权项

一种测序用微流控芯片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：取单面抛光的光纤基片；步骤2：在温度为80℃以上的条件下，以N,N‑二甲基甲酰胺水浴20‑30min，然后用水冲洗1min以上，吹片烘干；步骤3：在芯片抛光面上涂光刻胶，通过曝光在表面形成反应池图形；步骤4：采用等离子刻蚀法刻蚀芯片，形成反应池；步骤5：在温度为80℃以上的条件下，以N,N‑二甲基甲酰胺水浴20‑30min，以H₂SO₄和H₂O₂体积比为3:1的混合溶液浸泡30‑60min，用水冲洗1min以上；步骤6：完成芯片的制备。