发明名称 |
基于光干涉的位移测量方法 |
摘要 |
一种基于光干涉的位移测量方法,涉及一种位移测量方法,该方法是利用光学谐振腔对波长选择性透过的特性,通过对透射光波长的分析得到腔长,当腔长变化时,透射波长随之产生变化,光电接收装置检测并分析透射波长得出腔长变化量,通过腔长变化量计算出被测物位移。本发明可实现对位移的精密测量,具有测量精度高、量程大、可从nm级跨越至m级、可大大提高系统的响应时间等特点,易于推广使用。 |
申请公布号 |
CN105674889A |
申请公布日期 |
2016.06.15 |
申请号 |
CN201610053503.4 |
申请日期 |
2016.01.27 |
申请人 |
广西科技大学鹿山学院 |
发明人 |
林澎;孙荣敏;龙盛保;杨灵敏;张树林;丁伟;张宏献;许孝忠;钟礼君;耿雪霄 |
分类号 |
G01B11/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/02(2006.01)I |
代理机构 |
柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 |
代理人 |
周小芹 |
主权项 |
一种基于光干涉的位移测量方法,其特征在于:该方法是利用光学谐振腔对波长选择性透过的特性,通过对透射波长的分析得到腔长,当腔长变化时,透射波长随之产生变化,光电接收装置检测并分析透射波长得出腔长变化量,通过腔长变化量计算出被测物位移。 |
地址 |
545616 广西壮族自治区柳州市鱼峰区新柳大道99号 |