发明名称 基于光干涉的位移测量方法
摘要 一种基于光干涉的位移测量方法,涉及一种位移测量方法,该方法是利用光学谐振腔对波长选择性透过的特性,通过对透射光波长的分析得到腔长,当腔长变化时,透射波长随之产生变化,光电接收装置检测并分析透射波长得出腔长变化量,通过腔长变化量计算出被测物位移。本发明可实现对位移的精密测量,具有测量精度高、量程大、可从nm级跨越至m级、可大大提高系统的响应时间等特点,易于推广使用。
申请公布号 CN105674889A 申请公布日期 2016.06.15
申请号 CN201610053503.4 申请日期 2016.01.27
申请人 广西科技大学鹿山学院 发明人 林澎;孙荣敏;龙盛保;杨灵敏;张树林;丁伟;张宏献;许孝忠;钟礼君;耿雪霄
分类号 G01B11/02(2006.01)I 主分类号 G01B11/02(2006.01)I
代理机构 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 代理人 周小芹
主权项 一种基于光干涉的位移测量方法,其特征在于:该方法是利用光学谐振腔对波长选择性透过的特性,通过对透射波长的分析得到腔长,当腔长变化时,透射波长随之产生变化,光电接收装置检测并分析透射波长得出腔长变化量,通过腔长变化量计算出被测物位移。
地址 545616 广西壮族自治区柳州市鱼峰区新柳大道99号