用于微环境之可供涤洗气穿透之多孔壁

摘要

明提供一种藉由洗涤气递送将一微环境洗涤至所特定需之相对湿度水准、氧气含量或微粒含量之装置及方法，且该装置及方法可使洗涤气于均匀分布于微环境内。一基板容器中具有一塔，一流体流动通道延伸过该塔之长度。存在复数个孔，在复数个孔与流体流动通道之间具有一多孔媒介，该多孔媒介用以调节在每一孔处排放之空气之体积及压力。

主权项

一种用于运输基板之系统，包含：一基板容器，具有一容器部，该容器部具有一开口及一门，该开口用于加载/卸载基板，该门系密封地封盖该开口；一基板载送部，设置于该运输容器之中；一装置，包括一入口塔(inlet tower)，该入口塔系安装于该基板容器部，以接纳一气态工作流体进入该容器内，进以利用该气态工作流体洗涤该基板容器本体；该入口塔，具有一长度及包含一多孔管状部，该多孔管状部位在具有一偏移部(offset portion)之一非多孔聚合物管件(non porous polymer fitting)之中，全部之该气态工作流体通过该管件之一面朝上开口，一内部流动通道系为该塔之延伸；及一止回阀，设置于该管件中。