显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种显示装置及其制造方法。该显示装置具有薄膜晶体管基板，该薄膜晶体管基板是在绝缘基板的表面配置了具有非晶半导体的有源层的多个第一薄膜晶体管元件和具有多晶半导体有源层的多个第二薄膜晶体管元件，其中，上述第一薄膜晶体管元件和上述第二薄膜晶体管元件分别是在上述绝缘基板的表面上依次层叠了栅电极、栅极绝缘膜和上述有源层而成的反交错结构，而且，上述有源层之上具有经由接触层而与上述有源层连接的源电极和漏电极，上述第二薄膜晶体管元件的上述有源层的层叠了上述接触层的位置处的膜厚小于60nm。

主权项

1.一种显示装置，其具有薄膜晶体管基板，该薄膜晶体管基板是在绝缘基板的表面上配置了具有非晶半导体的有源层的多个第一薄膜晶体管元件和具有多晶半导体的有源层的多个第二薄膜晶体管元件的基板，该显示装置的特征在于，上述第一薄膜晶体管元件和上述第二薄膜晶体管元件分别为在上述绝缘基板的表面上依次层叠有栅电极、栅极绝缘膜和上述有源层而成的反交错结构，并且，在从上述绝缘基板观察到的上述有源层之上具有经由接触层而与上述有源层连接的源电极和漏电极，上述第二薄膜晶体管元件的上述有源层的层叠有上述接触层的位置处的膜厚大于60nm。