曝光方法、曝光装置、及彩色滤光片之制造方法

主权项

一种曝光方法，系一面将形成有格子状之遮光层的基板朝第1方向搬运，一面于前述基板上形成构成彩色滤光片之着色像素的曝光方法，以与反覆点灯及熄灯之点灭式光源对向的方式，配置具有复数个开口的光罩与涂布有阻剂的基板；一面连续地将前述基板朝前述第1方向搬运，一面使前述点灭式光源点灭，间歇地进行复数次曝光；于各次曝光时，使前述光罩朝向与前述第1方向正交的第2方向移动，以进行前述光罩与前述基板的对位；于各次曝光时，以使前述光罩之前述复数个开口的一部分，与前一次曝光时透过前述光罩之开口所曝光之曝光图案的一部分重叠的方式，控制前述点灭式光源的点灭间隔；前述光罩之一个开口之前述第1方向的宽度与前述遮光层所包围之一个开口区域之前述第1方向的宽度的差，比前述光罩之一个开口之前述第2方向的宽度与前述遮光层所包围之一个开口区域之前述第2方向的宽度的差还大。