| 摘要 |
본 발명은 간단한 장치 구성으로 측정 개시까지의 시간을 단축한다. 테스터(11)와 전기적으로 접속되는 배선로(14a)가 형성된 프로브 기판(18), 및 척 탑(21) 상의 반도체 웨이퍼(28)의 복수의 접속 패드(28a) 각각에 접촉 가능하게 복수의 프로브(18a)를 가지며, 척 탑(21)에 대해서 상대적으로 이동하는 프로브 카드(19)와, 척 탑(21)의 작업면, 또는 작업면 상의 반도체 웨이퍼(28)와 프로브 기판(18) 사이에 배치된 탄성 열 전도 부재(18h)를 구비한다. 탄성 열 전도 부재(18h)는, 복수의 프로브(18a)가 각각 대응하는 복수의 접속 패드(28a)에 비접촉 상태에서 척 탑(21)의 작업면 또는 작업면 상의 반도체 웨이퍼(28)와, 프로브 기판(28)에 접촉 가능하며, 또한 복수의 프로브(18a)와 각각 대응하는 접속 패드(28a)와의 접촉을 방해하지 않도록 탄성 변형 가능하다. |
