金属内连线及其形成方法;INTERCONNECT AND METHOD OF FORMING THE SAME

摘要

一种金属内连线，包括介电层、导体插塞、导线以及聚合物。导体插塞位于介电层中。导线位于导体插塞上且与导体插塞接触。聚合物覆盖在导线的侧壁。