发明名称 | 一种对衍射孔的定位装置和定位方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种对衍射孔的定位装置和定位方法,定位装置包括聚透镜、衍射板、探测器、计算机和调整机构,其中:在聚透镜和探测器之间放置衍射板,入射光束经过聚透镜后在衍射板上形成聚焦斑,若聚焦斑落在衍射板的可透光区域,则在探测器上形成衍射光斑;调整机构与衍射板连接,且衍射板安装在调整机构上,调整机构使衍射板在调整机构的坐标系X、Y、Z方向移动和绕Z轴旋转,调整聚焦斑大小实现对衍射孔的定位;计算机与探测器连接,计算机从探测器获取衍射光斑的光强信号,用于显示探测器上的光强分布信息。 | ||
申请公布号 | CN103256889B | 申请公布日期 | 2015.08.26 |
申请号 | CN201310219983.3 | 申请日期 | 2013.06.05 |
申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 徐富超;许嘉俊;邢廷文 |
分类号 | G01B9/02(2006.01)I | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 梁爱荣 |
主权项 | 一种对衍射孔的定位装置,其特征在于:包括聚透镜、衍射板、探测器、计算机和调整机构,其中:在聚透镜和探测器之间放置衍射板,入射光束经过聚透镜后在衍射板上形成聚焦斑,若聚焦斑落在衍射板的可透光区域,则在探测器上形成衍射光斑;调整机构与衍射板连接,且衍射板安装在调整机构上,调整机构使衍射板在调整机构的坐标系X、Y、Z方向移动和绕Z轴旋转,调整聚焦斑大小实现对衍射孔的定位;计算机与探测器连接,计算机从探测器获取衍射光斑的光强信号,用于显示探测器上的光强分布信息;在所述衍射板上具有中心定位孔、衍射孔、定位孔和定位条,且中心定位孔、衍射孔、定位孔和定位条的中心在一条直线上,中心定位孔位于衍射板的中心点上,衍射孔位于中心定位孔和定位孔之间,中心定位孔位于定位条和衍射孔之间。 | ||
地址 | 610209 四川省成都市双流350信箱 |