| 主权项 |
一种化学增幅负型光阻组成物，其包含具有脱离基之光阻聚合物及酸产生剂，在暴露于高能辐射下时，于藉酸产生剂生成之酸的催化下，由于脱离基经过消去反应之故，该光阻聚合物变成不可溶于硷性显影剂中，该光阻聚合物由下列组成：具有式(1)之重复单元、选自式(2)及(3)中至少一类型之重复单元及具有式(4)之重复单元，其中除具有式(1)之重复单元以外的重复单元中至少有一种具有至少一个酚系羟基及/或氟醇基，且除具有式(1)之重复单元以外的重复单元总数以聚合物整体重复单元计系占25至95莫耳%，
其中A、B及C各系单键或在链中间可含有醚氧原子的C1-C10伸烷基，D系单键或为二价、直链、支链或环状、脂族C1-C10烃基，此基团可经氟取代且可含有位于链中间之醚氧原子、羰基或羰氧基，R1系氢、氟、甲基或三氟甲基，R2、R3、R4、及R5各独立的为氢、卤素、任意经卤基取代之直链、支链或环状C2-C8醯氧基、任意经卤基取代之直链、支链或环状C1-C6烷基或任意经卤基取代之直链、支链或环状C1-C6烷氧基，L系氢、可于链中间含醚氧原子、羰基或羰基氧基之单价、直链、支链或环状、脂族C1-C10烃基或任意经取代之单价芳族基，Rx及Ry各系氢或可经羟基或烷氧基取代之C1-C15烷
基，Rx及Ry可键结在一起连同其所附接之碳原子形成环，排除Rx及Ry同时为氢之情况，Rf1及Rf2各系具有至少一个氟原子之C1-C6烷基，Rf2可与D键结连同其所附接之碳原子一起形成环，f系1至3之整数，g系1至3之整数，h系1或2，i系0至3之整数，r系0或1，v系1或2，s、t及u各系0至2之整数，a系(5+2s-f)之整数，b系(5+2t-g)之整数，c系(5+2u-h)之整数，d系0至5之整数，m、n及p各独立的为0或1，其限制条件为当r系0时，p为1。 |
