| 发明名称 | 柔性衬底 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种柔性衬底，其中柔性衬底包括依次层叠的第一聚合物层、第一硅保护层、原子层沉积膜、第二硅保护层及第二聚合物层。上述柔性衬底中，在两层聚合物层之间设置氧化铝原子层沉积膜，氧化铝原子层沉积膜具有良好的致密性，因此柔性衬底具备良好的防水/氧渗透性能，因此不需要设置较多的阻隔层，厚度小、韧性好。 | ||
| 申请公布号 | CN204441338U | 申请公布日期 | 2015.07.01 |
| 申请号 | CN201420824856.6 | 申请日期 | 2014.12.22 |
| 申请人 | 昆山国显光电有限公司 | 发明人 | 薛慕蓉;陈红;吴伟力 |
| 分类号 | H01L51/52(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 唐清凯 |
| 主权项 | 一种柔性衬底，其特征在于，包括依次层叠的第一聚合物层、第一硅保护层、原子层沉积膜、第二硅保护层及第二聚合物层。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢 | ||