用于等离子体反应器的阻抗匹配网路

摘要

一种用于等离子体反应器的阻抗匹配网路，包括至少一电感和一可变电容单元，可变电容单元包括至少一个可变真空电容，可变真空电容包括两个平行的电极板，两电极板间设置一环形压电陶瓷板，环形压电陶瓷板连接一驱动电源，环形压电陶瓷板的中空区域设置一弧形电极板，阻抗匹配网路中的可变真空电容利用压电陶瓷材料的逆压电效应，在对压电陶瓷施加交变驱动电压时，压电陶瓷能迅速沿着电压载入方向发生伸缩运动，使弧形电极板相对另一极板的距离发生变化，进而迅速改变可变真空电容的电容值。