测量装置

摘要

披露一种测量装置，其中阻挡层(2)将腔室分成第一区域(10)和第二区域(20)。阻挡层(50)具有已知厚度(T)并包括具有已知半径(R)的孔。气流装置在第一区域(10)内提供二氧化碳流(12)并在第二区域(20)内提供氮气流(22)。气体检测器(28)测量第二区域(20)中的二氧化碳浓度，而处理器(32)基于已知的通孔特性来计算从一个区域至另一区域的理论扩散通量。处理器(32)配置成基于已知的通孔特性来计算校准参数以将测得的参数与理论扩散通量联系起来。

主权项

测量装置，包括：腔室；将所述腔室分成第一和第二区域的阻挡层，其中所述阻挡层包括各自具有已知特性的一个或多个通孔；检测器，设置成测量与气体透过所述阻挡层从一个区域至另一区域的扩散通量有关的参数；处理器，配置成计算与透过所述阻挡层的理论扩散通量有关的参数，其中所述计算基于所述通孔的所述已知特性，并且计算出的校准参数将测得的参数与计算出的参数联系起来；以及用于存储由所述处理器计算的所述校准参数的数据存储装置，其中所述阻挡层能够由另一阻挡层取代，以使得所述测量装置能通过用所述检测器测量参数并应用存储在所述数据存储装置中的所述校准参数来确定与跨所述另一阻挡层的扩散通量有关的参数；所述通孔的所述已知特性包括所述通孔的深度和面积；所述阻挡层是由在没有任何通孔的情形下基本上不透气的材料制成的。