一种新型PECVD车间卸片工字形吸盘头

摘要

本实用新型公开了一种新型PECVD车间卸片工字形吸盘头，包括块状的吸盘头，在吸盘头内设有外接抽真空设备的抽真空管路，吸盘头具有用于贴附在硅片上的吸附面，在吸附面上设有吸附槽，吸附槽的槽底开设有抽气孔，抽真空管路与抽气孔相通，吸附槽为工字形，吸附槽的边缘靠近吸盘头的吸附面的边沿。本实用新型吸附槽为工字形，吸附槽的边缘靠近吸附面的边沿，由于扩大了吸附槽的面积，相对减小了吸盘头与硅片的接触面积，吸附时减小了吸附槽内的压强，吸盘吸附不会在硅片上留下吸盘印、划痕，确保了镀膜效果，大大减少了镀膜硅片的返工，降低了生产成本；工字形的吸附槽能够使得吸盘头与硅片具有足够的接触面积，保证吸附稳定，不掉片。

主权项

一种新型PECVD车间卸片工字形吸盘头，包括块状的吸盘头，在所述吸盘头内设有外接抽真空设备的抽真空管路，所述吸盘头具有用于贴附在硅片上的吸附面，在所述吸附面上设有吸附槽，所述吸附槽的槽底开设有抽气孔，所述抽真空管路与抽气孔相通，其特征在于：所述吸附槽为工字形，所述吸附槽的边缘靠近所述吸盘头的吸附面的边沿。