金属内连线结构及其制造方法;METAL INTERCONNECT STRUCTURE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME

摘要

一种金属内连线结构的制造方法，包括在介电层中形成导电插塞，接着，在介电层与导电插塞上形成导电层，之后，在导电层上覆盖顶盖层，其后，图案化顶盖层与导电层，以形成图案化的顶盖层与图案化的导电层。