固态图像拾取装置

摘要

本发明涉及一种固态图像拾取装置。N型半导体区域和浮动扩散区域被设置在有源区中。用于从PD向FD传送电荷的传送栅电极通过绝缘体被设置在半导体基板上。构成PD的N型半导体区域的一部分和传送栅电极的一部分相互重叠。P型半导体区域被设置在有源区中。P型半导体区域和N型半导体区域的与传送栅电极重叠的部分被设置为沿与半导体基板和绝缘体的界面平行的方向相互邻近。N型半导体区域的杂质浓度峰的位置和P型半导体区域的杂质浓度峰的位置在深度上相互不同。

主权项

一种固态图像拾取装置，包括：包含有源区的半导体基板；第一导电类型的第一半导体区域；第二导电类型的第二半导体区域；第一导电类型的第三半导体区域；浮动扩散区域；被设置在所述半导体基板上的绝缘体；第一传送栅电极，所述第一传送栅电极通过所述绝缘体被设置在所述半导体基板上并被配置为控制从第一半导体区域到浮动扩散区域的电荷的传送，和第二传送栅电极，所述第二传送栅电极通过所述绝缘体被设置在所述半导体基板上并被配置为控制从第三半导体区域到浮动扩散区域的电荷的传送，其中，第一半导体区域、第二半导体区域和浮动扩散区域被设置在有源区中，其中，第一半导体区域的一部分被设置为与第一传送栅电极的第一部分重叠，其中，第一半导体区域的所述部分和第二半导体区域被设置为在沿所述半导体基板和所述绝缘体的界面的方向上相互邻近，其中，从所述界面到第一半导体区域的所述部分的杂质浓度峰的位置的距离不同于从所述界面到第二半导体区域的杂质浓度峰的位置的距离，其中，第三半导体区域被设置在有源区中，其中，第三半导体区域的一部分被设置为与第二传送栅电极的一部分重叠，并且，其中，第三半导体区域的所述部分和第二半导体区域被设置为沿所述方向相互邻近。