一种制备碳纳米管的装置

摘要

本实用新型公开的制备碳纳米管的装置，包括卧式反应腔，反应腔内有N根石英反应管，N≥1、每根石英反应管内置有一个用于放置催化剂的石英舟，在反应腔外设置有加热装置和温控柜，碳氢气体储罐、氢气储罐和氮气储罐经过各自气体调节器、N通连接管后分别与N个三通道气体质量流量控制器的进气口相连，N个三通道气体质量流量控制器的出气口分别经气体混合器与N根石英反应管的一端连通，每根石英反应管的另一端分别与废气回收处理器相连。本实用新型结构简单，操作容易，可精确控制进入每根石英反应管的碳氢气体、氢气和氮气的流量，由此大幅度提高碳纳米管生产的稳定性和产量，并节省能耗和生产成本。

主权项

一种制备碳纳米管的装置，其特征是包括卧式反应腔(1) 、碳氢气体储罐(7)、氢气储罐(8)、氮气储罐(9)、N个三通道气体质量流量控制器(12)和N个气体混合器(13)，在卧式反应腔内有N根石英反应管(2)，N≥1，每根石英反应管(2)内置有一个石英舟(3)，在卧式反应腔外设有加热装置(4)和温控柜(5)，碳氢气体储罐(7)、氢气储罐(8)和氮气储罐(9)经过各自气体调节器(10)和N通连接管(11) 分别与N个三通道气体质量流量控制器(12)的进气口相连，N个三通道气体质量流量控制器(12)的出气口分别与N个气体混合器(13)的进气口相连，N个气体混合器(13)的出气口分别与N根石英反应管(2) 的一端连通，每根石英反应管(2)的另一端分别与废气回收处理器(14)相连。