| 发明名称 | 一种用于机械手臂的防污染系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于机械手臂的防污染系统，其特征在于，该系统至少包括：机械手臂；固定在所述机械手臂内部的至少一个加热片以及与所述每个加热片连接的至少一个温度计；置于所述机械手臂外部的控制器；所述加热片、所述温度计分别与所述控制器连接；与所述加热片以及控制器连接的继电器；所述继电器连接有电源。通过设置控制器、继电器以及电源等来控制位于所述机械手臂内部的加热片的温度，使得所述机械手臂被加热，用以蒸发掉附着在所述机械手臂外表面的具有腐蚀性的酸或水，从而使得所述机械手臂达到抗腐蚀的效果。 | ||
| 申请公布号 | CN203738818U | 申请公布日期 | 2014.07.30 |
| 申请号 | CN201420128380.2 | 申请日期 | 2014.03.20 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 | 发明人 | 卫金荣;陈峰;邵业明;钱文明 |
| 分类号 | B25J19/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | B25J19/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 李仪萍 |
| 主权项 | 一种用于机械手臂的防污染系统，其特征在于，所述用于机械手臂的防污染系统至少包括： 机械手臂； 固定在所述机械手臂内部的至少一个加热片以及与所述每个加热片连接的至少一个温度计； 置于所述机械手臂外部的控制器；所述加热片、所述温度计分别与所述控制器连接； 与所述加热片以及控制器连接的继电器；所述继电器连接有电源。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号 | ||