可调整的遮罩

摘要

说明了一种用以形成沉积材料层于基板上的沉积设备。沉积设备包括：基板支撑件，用以支撑基板；以及边缘（660）排除遮罩（640），用以在层沉积期间覆盖基板（610）的周边。遮罩具有至少一框部，该至少一框部定义一孔洞。遮罩的该至少一框部用以根据在遮罩的该至少一框部上沉积的沉积材料的数量来相对于基板移动（670，680）。进一步来说，说明了一种利用边缘排除遮罩来沉积沉积材料层于基板上的方法。

主权项

一种用以形成沉积材料层于基板(100；210；410；510；610)上的沉积设备(200；600)，包括：基板支撑件(220；620)，用以支撑该基板；以及边缘排除遮罩(240；400；500；640)，用以在层沉积期间覆盖所述基板的周边，所述遮罩具有至少一框部(401、402、403、404、405、406、407、408；501、502、503、504、505、506、507、508)，所述至少一框部定义一孔洞(341；415；515)；其中所述遮罩的所述至少一框部用以根据在所述遮罩的所述至少一框部上沉积的沉积材料的数量，来相对于所述基板移动。