发明名称 |
基于氮的施主-受主共掺氧化锌薄膜的制备方法 |
摘要 |
本发明公开一种基于氮的施主-受主共掺氧化锌薄膜的制备方法,包括将基片放入ALD反应腔室中,对基片及腔室管道进行加热,然后依次进行多组分的复合沉积;所述复合沉积包括在第一次锌源沉积后,分别引入一次包含III主族元素X的施主掺杂源的掺杂沉积、第二次锌源沉积、至少两次氮掺杂源沉积及至少两次氧源沉积,形成N-X-N的共掺;所述氮掺杂源沉积和所述氧源的沉积顺序是先氧源沉积,后氮掺杂源沉积;所述包含III主族元素施主掺杂源沉积与所述第二次锌源沉积顺序是先包含III主族元素施主掺杂源沉积,后第二次锌源沉积。该方法可以对氧化锌薄膜进行原位的施主-受主的共掺,以增加受主元素的掺入量,促进氧化锌薄膜的p型转变。 |
申请公布号 |
CN103866268A |
申请公布日期 |
2014.06.18 |
申请号 |
CN201210531536.7 |
申请日期 |
2012.12.11 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
卢维尔;夏洋;李超波;张阳;解婧;董亚斌 |
分类号 |
C23C16/40(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/40(2006.01)I |
代理机构 |
北京华沛德权律师事务所 11302 |
代理人 |
刘丽君 |
主权项 |
一种基于氮的施主‑受主共掺氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于,包括:将基片放入ALD反应腔室中,对基片及腔室管道进行加热,然后进行多组分的复合沉积;所述复合沉积包括在第一次锌源沉积后,分别引入一次包含III主族元素X的施主掺杂源的掺杂沉积、第二次锌源沉积、至少两次氮掺杂源沉积及至少两次氧源沉积,形成N‑X‑N的共掺;所述氮掺杂源沉积和所述氧源的沉积顺序是先氧源沉积,后氮掺杂源沉积;所述包含III主族元素施主掺杂源沉积与所述第二次锌源沉积顺序是先包含III主族元素施主掺杂源沉积,后第二次锌源沉积。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所 |