用于半导体功率器件的沟槽式终端及其制备方法

摘要

本发明公开了用于半导体功率器件的沟槽式终端，该终端包含至少一个沟槽，所述沟槽位于终端器件衬底内，终端表面由里及外覆盖有绝缘层和多晶硅，在所述终端区域的沟槽的端口和底部的周围具有P型区域，该P型区域与衬底的掺杂类型相反。本发明提供的用于半导体功率器件的沟槽式终端，通过在沟槽周围电场强烈集中的位置形成起保护作用的P型区域，该P型区域与衬底的掺杂类型相反，增强了该终端的可靠性。该沟槽式终端结构应用在元包结构为沟槽的功率器件中，能够减少器件制作的工艺步骤，从而降低制作成本。

主权项

用于半导体功率器件的沟槽式终端，其特征在于，终端包含至少一个沟槽，所述沟槽位于终端器件衬底内，终端表面由里及外覆盖有绝缘层和多晶硅，在所述终端的沟槽的端口和底部的周围具有P型区，该P型区与衬底的掺杂类型相反。