发明名称 基板加工系统及该基板加工系统中使用的刀片保持具的安装方法
摘要 本申请的发明是可将误装不应该使用的轮片的失误排除的基板加工系统及该基板加工系统中使用的刀片保持具的安装方法。该安装方法包含如下步骤:按照刻划加工的各个种类,将使决定刻划加工的动作内容的操作信息与特定该刻划加工中可使用的轮片(12e)的容许型式信息(26)建立关联而存储的刻划配方(SD)设定在连接于基板加工装置(A)的电脑(19)中;选择刻划配方(SD);决定适合于所选择的刻划配方(SD)中所包含的容许型式信息(26)的轮片(12e);及读取载置在规定的载置场所的刀片保持具(12)的代码(12i),取出所述刀片保持具(12)并安装在基板加工装置(A)上。
申请公布号 CN103507168A 申请公布日期 2014.01.15
申请号 CN201310201107.8 申请日期 2013.05.27
申请人 三星钻石工业股份有限公司 发明人 高松生芳;三浦善孝;富永圭介
分类号 B28D1/22(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I;C03B33/02(2006.01)I 主分类号 B28D1/22(2006.01)I
代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人 沈锦华
主权项 一种基板加工系统,其特征在于包含:基板加工部,在保持轮片并且标有记录着识别该轮片的种类的型式的代码的刀片保持具安装在可装卸该刀片保持具的刻划头的保持具接头的状态下进行刻划加工;刀片保持具安装机械手,从载置在规定的载置场所的多个刀片保持具中取出用于所述刻划加工的刀片保持具并安装在所述保持具接头上;及控制部,进行利用所述基板加工部进行刻划加工的控制及利用所述刀片保持具安装机械手进行刀片保持具在保持具接头中的安装的控制;且该系统包含:数据保持部,按照刻划加工的各个种类来存储刻划配方,该刻划配方中使决定刻划加工的动作内容的操作信息与特定该刻划加工中可使用的型式的轮片的容许型式信息建立关联;输入部,进行制成所述刻划配方时的输入;配方选择部,选择所存储的刻划配方的任一配方;及读取器,读取标在所述刀片保持具的代码;所述控制部进行如下控制:根据所选择的刻划配方的容许型式信息,决定保持着适合的轮片的刀片保持具,并且利用所述读取器读取标在载置场所的刀片保持具的代码而利用所述刀片保持具安装机械手将适合的刀片保持具安装在所述保持具接头上。
地址 日本大阪府