基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器

摘要

本发明涉及MEMS矢量水声传感器，具体是一种基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器。本发明解决了现有MEMS矢量水声传感器抗流噪声性能差、灵敏度低、抗冲击性能差、质量重、声阻抗与水不匹配、以及加工制作困难的问题。基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器包括基底、框形基座、悬臂梁、质量块、空心玻璃柱体、内侧PZT压电薄膜、以及外侧PZT压电薄膜；其中，框形基座的下端面键合于基底的上表面；悬臂梁的外端面固定于框形基座的内表面；质量块固定于悬臂梁的内端面，且质量块的上表面垂直开设有圆孔；空心玻璃柱体的下端键合于圆孔内；内侧PZT压电薄膜旋涂于悬臂梁的内端上表面。本发明适用于水声传感。

主权项

一种基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器，其特征在于：包括基底（1）、框形基座（2）、悬臂梁（3）、质量块（4）、空心玻璃柱体（5）、内侧PZT压电薄膜（6）、以及外侧PZT压电薄膜（7）；其中，框形基座（2）的下端面键合于基底（1）的上表面；悬臂梁（3）的外端面固定于框形基座（2）的内表面；质量块（4）固定于悬臂梁（3）的内端面，且质量块（4）的上表面中央垂直开设有圆孔；空心玻璃柱体（5）的下端键合于圆孔内；内侧PZT压电薄膜（6）旋涂于悬臂梁（3）的内端上表面；外侧PZT压电薄膜（7）旋涂于悬臂梁（3）的外端上表面；内侧PZT压电薄膜（6）的底电极与外侧PZT压电薄膜（7）的底电极相互共用；内侧PZT压电薄膜（6）的顶电极与外侧PZT压电薄膜（7）的顶电极相互断开。