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<p>Substratverarbeitungsvorrichtung, umfassend eine Ablage, eine Abdeckung und ein Drehgestell. Die Ablage umfasst eine Substratlagerung, die eingerichtet ist, um einen äußeren Kantenabschnitt eines Substrats zu lagern, eine Abdeckungslagerung, die an einer äußeren Umfangsseite der Substratlagerung vorgesehen ist und über die Substratlagerung hervorsteht, und eine Aussparung, die zwischen der Substratlagerung und der Abdeckungslagerung vorgesehen ist. Die Abdeckung deckt die Aussparung und die Substratlagerung der Ablage ab. Das Drehgestellt umfasst eine elektrostatische Adsorptionsoberfläche und einen Ablagehalteabschnitt, der an einer äußeren Umfangseite der elektrostatischen Adsorptionsoberfläche und unter der elektrostatischen Adsorptionsoberfläche vorgesehen ist. Der äußere Kantenabschnitt des Substrats steht von der elektrostatischen Adsorptionsoberfläche zur Seite des Ablagehalteabschnitts hervor. Die Substratlagerung ist unter dem äußeren Kantenabschnitt des Substrats beabstandet. Die Abdeckung ist über dem äußeren Kantenabschnitt des Substrats beabstandet.</p> |
