下腔体保温结构及采用下腔体保温结构的多晶炉

摘要

一种下腔体保温结构及采用下腔体保温结构的多晶炉，包括热场、保温毡、水道和下腔体，下腔体包括圆筒部和底部，圆筒部由内圆筒和外圆筒焊接形成，且内圆筒和外圆筒之间形成第一空间，底部同样由内层和外层焊接形成，且两层之间形成第二空间，水道焊接于下腔体的圆筒部的第一空间内，下腔体的底部外层设置空气进气口、空气出气口和测温口，空气进气口与第二空间相通，空气出气口与第二空间相通。本发明的有益效果在于：保温效果好，便于硅锭的生长；作业过程中减少安全隐患。

主权项

一种下腔体保温结构及采用下腔体保温结构的多晶炉，包括热场、保温毡、水道和下腔体，其特征在于：下腔体包括圆筒部和底部，圆筒部由内圆筒和外圆筒焊接形成，且内圆筒和外圆筒之间形成第一空间，底部同样由内层和外层焊接形成，且两层之间形成第二空间，热场安装在下腔体内，保温毡铺在下腔体里面；下腔体保温结构，包括水道和下腔体，下腔体包括圆筒部和底部，圆筒部由内圆筒和外圆筒焊接形成，且内圆筒和外圆筒之间形成第一空间，底部同样由内层和外层焊接形成，且两层之间形成第二空间，水道焊接于下腔体的圆筒部的第一空间内，下腔体的底部外层设置空气进气口、空气出气口和测温口，空气进气口与第二空间相通，空气出气口与第二空间相通。