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<p>셀프 클리닝 엑스레이 윈도우 장치는, 배압 영역과 중간 영역을 분리하는 1차 엑스레이 투과 윈도우 소자 및 상기 중간 영역과 감소된 압력 영역을 분리하는 2차 엑스레이 투과 윈도우 소자를 포함한다. 상기 감소된 압력 영역에 마주하는 상기 2차 윈도우 소자의 측면에 오염물이 퇴적할 것으로 예상된다. 가열 소스(heat source)는 상기 2차 윈도우 소자의 일부를 가열하고 이에 의해 상기 2차 윈도우 소자 상에 퇴적되어 있는 오염물을 증발시키도록 구성되어 있다. 2차 윈도우 소자는 오염물이 있는 상기 감소된 압력 영역으로부터 상기 1차 윈도우 소자를 차폐하며, 상기 압력 밀봉 1차 윈도우 소자는 상기 배압 영역과 상기 감소된 압력 영역 사이의 대부분의 차동 압력을 수반한다. 본 발명의 몇 가지 특징은 오염물이 중간 영역으로 들어가는 속도를 감소시키는 것을 조장하는 것이다. 중간 영역의 압력을 감소된 압력 영역에 가까이 유지함으로써, 유해한 가스에 대한 노출뿐만 아니라 2차 윈도우 소자에 대한 기계적 응력이 제한된다.</p> |
