发明名称 Vorrichtung zur Darstellung und Vermessung von Mikrostrukturen auf Oberflächen
摘要 Vorrichtung zur Darstellung und Vermessung von Mikrostrukturen auf einer Oberfläche, mit folgenden, miteinander in Wirkverbindung stehenden Bauteilen: einem Mikroskop (5), mindestens einer Kamera (6), einem Monitor (4) und einem Rechner (3) mit angeschlossener Tastatur (14), dadurch gekennzeichnet, dass das Mikroskop (5) und die Kamera (6), der Monitor (4) und der Rechner (3) mit der Tastatur (14) zu einer Baueinheit zusammengefasst sind, die an ihrer Unterseite als Auflager mindestens zwei, parallel und mit Abstand zueinander verlaufende Rollen (13) aufweist.
申请公布号 DE10251427(B4) 申请公布日期 2011.07.14
申请号 DE20021051427 申请日期 2002.11.02
申请人 HSA HELIO SERVICE AHAUS GMBH 发明人 WITTE, HEINZ;SCHLEY, ALFRED
分类号 G01B11/30;G01B11/02;G02B21/36 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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