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发明名称 PEDESTAL HEATER FOR LOW TEMPERATURE PECVD APPLICATION
摘要
申请公布号 KR20110033925(A) 申请公布日期 2011.04.01
申请号 KR20117001770 申请日期 2009.06.23
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ZHOU JIANHUA;YAP LIPYEOW;SKLYAR DMITRY;AYOUB MOHAMAD;JANAKIRAMAN KARTHIK;ROCHA ALVAREZ JUAN CARLOS
分类号 H01L21/205;H01L21/683 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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