超高真空用之蒸镀式辅助抽气设备

主权项

一种超高真空用之蒸镀式辅助抽气设备，含主要抽气设备(1)、钇元素棒(4)、于钇元素棒(4)近处两旁之电击棒、钇元素棒(4)及电击棒被推入至的不锈钢圆桶(2)、于不锈钢圆桶(2)内连接电击棒正负端的钨丝(8)、连接主要抽气设备(1)与不锈钢圆桶(2)之间的通孔(3)，其特征在于钇元素棒(4)及电击棒被推入的不锈钢圆桶(2)区域系指不锈钢圆桶(2)中心区，可外加电流至电极棒的正负端钨丝(8)，及外加电压至钇元素棒，利用电压差，电子束轰击钇元素棒(4)产生加热效果，使钇元素棒(4)加热达熔融状态时，钇原子将由钇元素棒(4)之该区经不锈钢圆桶(2)空间蒸镀至不锈钢圆桶(2)腔壁，且于吸附腔壁过程中，将大量吸收不锈钢圆桶(2)内及主要抽气设备(1)经通孔(3)来之气体。如申请专利范围第1项所述之超高真空用之蒸镀式辅助抽气设备，含于钇元素棒(4)两旁并漏在不锈钢圆桶(2)外的接至电击棒的正负端子、亦漏于不锈钢圆桶(2)外的接至钇元素棒(4)的SHV接头(5)，此二者即分别为外加电流及电压之处。如申请专利范围第1或2项所述之超高真空用之蒸镀式辅助抽气设备，其也可使钇元素不受背景气压影响持续蒸镀至腔壁并在过程中吸附气体，关闭电源后在薄膜未达饱和前，仍能持续吸收不锈钢圆桶(2)内及主要抽气设备(1)经通孔(3)来之气体。如申请专利范围第1或2项所述之超高真空用之蒸镀式辅助抽气设备，含于钇元素棒(4)最外侧端的真空线性传输器(7)，此传输器可将钇元素棒(4)更推入不锈钢圆桶(2)内。