适合作为酸生成剂的盐和包含该盐的化学放大型抗蚀组合物

摘要

适合作为酸生成剂的盐和包含该盐的化学放大型抗蚀组合物本发明提供一种式(L)的盐式(L)的盐其中Q代表-CO-基团或-C(OH)-基团；环X代表含有3-30个碳原子的单环或多环烃基，其中当Q是-C(OH)-基团时，在Q位置上的一个氢原子被一个羟基取代，或者当Q是-CO-基团时，在Q位置上的两个氢原子被＝O基取代，并且单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1-6个碳原子的烷基、含有1-6个碳原子的烷氧基、含有1-4个碳原子的全氟烷基、含有1-6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；R¹⁰和R²⁰各自独立地表示氟原子或含有1-6个碳原子的全氟化烷基；A⁺表示有机平衡离子。本发明还提供一种包含式(L)的盐的化学放大型抗蚀组合物。

主权项

1.式(L)的盐：其中Q代表-CO-基团或-C(OH)-基团；环X代表含有3-30个碳原子的单环或多环烃基，其中当Q是-C(OH)-基团时，在Q位置上的一个氢原子被一个羟基取代，或者当在Q是-CO-基团时Q位置上两个氢原子被＝O基取代，并且单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1-6个碳原子的烷基、含有1-6个碳原子的烷氧基、含有1-4个碳原子的全氟烷基、含有1-6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；R¹⁰和R²⁰各自独立地表示氟原子或含有1-6个碳原子的全氟化烷基；A⁺是至少一种选自式(IIIa)、式(IIIb)、式(IIIc)、式(IIId)的阳离子和式(IIIe)的平衡离子，式(IIIa)的阳离子是其中，P¹、P²和P³各自独立地表示氢原子、羟基、含有1-12碳原子的烷基或含有1-12个碳原子的烷氧基，式(IIIb)的阳离子是其中，P⁴和P⁵各自独立地表示氢原子、羟基、含有1-12碳原子的烷基或含有1-12个碳原子的烷氧基，式(IIIc)是其中，P⁶和P⁷各自独立地表示含有1-12碳原子的烷基或含有3-12个碳原子的环烷基，或者P⁶和P⁷键合形成含有3-12个碳原子的二价无环烃基，该烃基与相邻的S⁺一起形成环，并且在该二价无环烃基中至少一个-CH₂-任选地被-CO-、-O-或-S-取代，P⁸表示氢，P⁹表示含有1-12碳原子的烷基、含有3-12个碳原子的环烷基或苯基、甲苯基、二甲苯基或萘基，或者P⁸和P⁹键合形成二价无环烃基，该烃基与相邻的-CHCO-一起形成2-氧代环烷基，并且在该二价无环烃基中至少一个-CH₂-任选地被-CO-、-O-或-S-取代，式(IIId)的阳离子是其中，P¹⁰、P¹¹、P¹²、P¹³、P¹⁴、P¹⁵、P¹⁶、P¹⁷、P¹⁸、P¹⁹、P²⁰和P²¹各自独立地表示氢原子、羟基、含有1-12碳原子的烷基或含有1-12个碳原子的烷氧基，B表示硫原子或氧原子，并且m表示0或1；式(IIIe)的平衡离子是其中，P²²、P²³和P²⁴各自独立地表示氢原子或含有1-4个碳原子的烷基。