| 发明名称 | 用于光学元件的更换设备 | ||
| 摘要 | 一种用于光学元件更换设备，所述光学元件安装在光刻物镜(1)内的两个相邻光学元件(2)之间，所述更换设备具有用于要被更换的光学元件(2a)的托架(5)，所述托架(5)可以通过光刻物镜(1)的壳体(1a)内的侧面开口(6)移入到光刻物镜(1)内。 | ||
| 申请公布号 | CN100545754C | 申请公布日期 | 2009.09.30 |
| 申请号 | CN200480038897.1 | 申请日期 | 2004.11.30 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT股份公司 | 发明人 | J·库格勒;F·索尔格;A·乌尔姆布兰德;T·伊特纳;T·施勒特雷尔 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B13/14(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I;G02B7/14(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 邱 军 |
| 主权项 | 1、一种光刻物镜(1)，其具有多个光学元件(2、2a)和至少一个更换设备(4)，该更换设备用于安装在两个相邻光学元件(2)之间的光学元件(2a)，所述更换设备具有用于要被更换的光学元件(2a)的托架(5)，所述托架(5)可以通过光刻物镜的壳体(1a)内的侧面开口(6)移入到所述光刻物镜(1)内，其特征在于，所述要被更换的光学元件(2a)通过均衡安装而被安装在光刻物镜(1)内；所述要被更换的光学元件(2a)被保持在光刻物镜(1)内的独立保持结构(9)上；并且所述独立保持结构(9)具有至少一个致动器(11)。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||