发明名称 ПОЛИМЕРНОЕ ИЗДЕЛИЕ, ИМЕЮЩЕЕ ТОНКОЕ ПОКРЫТИЕ, ОБРАЗОВАННОЕ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ПЛАЗМЫ, И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТАКОГО ИЗДЕЛИЯ
摘要 1. Полимерное изделие, имеющее тонкое покрытие, по меньшей мере, на одной из его сторон, отличающееся тем, что указанное покрытие содержит первое покрытие SiOxCуHz, которое представляет собой полимеризованный в плазме тетраметилсилан или полимеризованный в плазме тетраметилсилан и газ-окислитель, предпочтительно кислород или диоксид углерода, нанесенное на поверхности полимерного изделия, где величина х равна 0-1,7, величина у равна 0,5-0,8, величина z равна 0,35-0,6 для указанного первого покрытия SiOxCуHz, и второе покрытие SiOxCуHz, которое представляет собой полимеризованный в плазме тетраметилсилан и газ-окислитель, предпочтительно кислород или диоксид углерода, нанесенное на поверхности указанного первого слоя, где величина х равна 1,7-1,99, величина у равна 0,2-0,7, величина z равна 0,2-0,35 для указанного второго покрытия SiOxCуHz, и тем, что толщина указанного первого покрытия равна от приблизительно 1 до приблизительно 15 нм, и тем, что толщина указанного второго покрытия равна от приблизительно 10 до приблизительно 100 нм, предпочтительно, приблизительно 30 нм. ! 2. Способ изготовления полимерного изделия, имеющего тонкое покрытие, образованное под действием плазмы, по меньшей мере, на одной из его сторон, отличающийся тем, что содержит следующие стадии: ! обработку плазмой на полимерном изделии, предпочтительно обработку плазмой аргона; ! нанесение первого покрытия SiOxCуHz генерированием плазмы из тетраметилсилана или тетраметилсилана и газа-окислителя, предпочтительно кислорода или диоксида углерода, причем величина х равна 0-1,7, величина у равна 0,5-0,8, величина z равна 0,35-0,6 для указанного первого покрытия SiOxCуHz, и ! последующее нанесение вт
申请公布号 RU2008101700(A) 申请公布日期 2009.07.27
申请号 RU20080101700 申请日期 2006.06.16
申请人 ИННОВЭЙТИВ СИСТЕМЗ ЭНД ТЕКНОЛОДЖИЗ (FR) 发明人 БЕЛДИ Нассер (FR);ШОЛЛЕ Патрик (FR)
分类号 C23C30/00 主分类号 C23C30/00
代理机构 代理人
主权项
地址