| 发明名称 | 一种基于ZnO薄膜透射光谱温变特性的温度测量方法 | ||
| 摘要 | 一种基于ZnO薄膜透射光谱温变特性的温度测量方法，包括以下步骤：1)在基底上制备ZnO薄膜；2)将所述的ZnO薄膜放入待测温度区域，并获取ZnO薄膜的透射光谱，依照所述透射光谱计算禁带宽度E<SUB>g</SUB>；3)依照ZnO薄膜的禁带宽度和温度T之间的函数关系，根据步骤2)禁带宽度E<SUB>g</SUB>和上述函数关系，得到当前的温度值。本发明提供一种能够同时实现高温区间和低温区间的测温、可靠性和准确性好的基于ZnO薄膜透射光谱温变特性的温度测量方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101363756A | 申请公布日期 | 2009.02.11 |
| 申请号 | CN200810120872.6 | 申请日期 | 2008.09.11 |
| 申请人 | 浙江工业大学 | 发明人 | 隋成华;陈乃波;许晓军;蔡萍根;魏高尧 |
| 分类号 | G01J5/00(2006.01);G01J3/28(2006.01) | 主分类号 | G01J5/00(2006.01) |
| 代理机构 | 杭州天正专利事务所有限公司 | 代理人 | 王兵;王利强 |
| 主权项 | 1、一种基于ZnO薄膜透射光谱温变特性的温度测量方法，其特征在于：所述温度测量方法包括以下步骤：1)、在基底上制备ZnO薄膜；2)、将所述的ZnO薄膜放入待测温度区域，并获取ZnO薄膜的透射光谱，依照所述透射光谱计算禁带宽度E<sub>g</sub>；3)、依照ZnO薄膜的禁带宽度E<sub>g</sub>(eV)和温度T(K)之间的函数关系：<img file="A200810120872C00021.GIF" wi="1436" he="212" />根据步骤2)禁带宽度E<sub>g</sub>和上述函数关系，得到当前的温度值。 | ||
| 地址 | 310014浙江省杭州市下城区朝晖六区 | ||