用于在微电子元件制造的期间涂覆基板的外部边缘之装置

摘要

提供新的挡板与使用这些挡板之方法。这些挡板包括具有边壁之主体，边壁系建构用以将组合物的流动引导至基板(例如矽晶圆)边缘。边壁包括垂直表面、与垂直表面连接之弯曲侧壁、以及与弯曲侧壁连接之唇部。较佳的挡板为形状是环状的，并由合成树脂组合物所形成。甚至更佳地，挡板不是由金属所形成的。本发明方法包括于旋涂程序期间将挡板定位于邻接基板，使得边壁可致使组合物覆盖基板的边缘、且较佳为基板背面的一部份。