| 发明名称 | 烘干装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种改善工艺效率的烘干装置。该烘干装置包括基板加热部、基板冷却部及把基板从基板加热部及/或基板冷却部投入并回收的第一基板搬运机器，其中基板加热部、第一基板搬运机器及基板冷却部按L字形设置。 | ||
| 申请公布号 | CN101082463A | 申请公布日期 | 2007.12.05 |
| 申请号 | CN200710107382.8 | 申请日期 | 2007.06.04 |
| 申请人 | 株式会社细美事 | 发明人 | 金相吉 |
| 分类号 | F26B3/00(2006.01);F26B25/00(2006.01) | 主分类号 | F26B3/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人 | 高翔 |
| 主权项 | 1.一种烘干装置，该装置包括：基板加热部；基板冷却部；和把基板投入到上述基板加热部及/或上述基板冷却部并回收的第一基板搬运机器；其中，上述基板加热部、上述第一基板搬运机器及上述基板冷却部按L字形设置。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道天安市业成洞623－5 | ||