发明名称 Sensors having nano-gap electrode and their manufacturing method
摘要
申请公布号 KR100757389(B1) 申请公布日期 2007.09.11
申请号 KR20060059128 申请日期 2006.06.29
申请人 发明人
分类号 B82B3/00;H01L21/28;H01L29/06 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人
主权项
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