发明名称 |
一种自控液晶光阀组光刻快门机构 |
摘要 |
一种自控液晶光阀组光刻快门机构,属于光学精密刻划技术领域中涉及的一种光刻快门机构,本实用新型要解决的技术问题是:提供一种自控液晶光阀组光刻快门机构,解决的技术方案是:包括灯盒、托板、液晶光阀组、曝光镜头、微型计算机、待刻码盘;在灯盒的光的传播方向上,从上到下依次安置灯盒、托板、曝光镜头、待刻码盘;在托板上固连放置液晶光阀组,使液晶光阀组置于光路中心,工作面垂直于曝光镜头的光轴,待刻码盘置于曝光镜头的焦面上,微型计算机与液晶光阀组按控制电路连接,将待刻码盘图案编制成受控脉冲电压信号,利用微机通过控制程序控制液晶光阀组上的每一个单元的脉冲电压,使其透光或不透光,经曝光镜头成像在待刻码盘上完成光刻。该快门结构简单,操作方便。 |
申请公布号 |
CN2795900Y |
申请公布日期 |
2006.07.12 |
申请号 |
CN200520028103.5 |
申请日期 |
2005.01.05 |
申请人 |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
发明人 |
陈赟 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01);G02F1/13(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
代理机构 |
长春科宇专利代理有限责任公司 |
代理人 |
刘树清 |
主权项 |
1.一种自控液晶光阀组光刻快门机构,包括灯盒、曝光镜头、待刻码盘,其特征在于还包括液晶光阀组(16)、托板(17)、微型计算机(19);在灯盒(15)的光的传播方向上,从上到下依次安置灯盒(15)、托板(17)、曝光镜头(18)、待刻码盘(20),在托板(17)上放置液晶光阀组(16),使液晶光阀组(16)置于光路的中心,工作面垂直于曝光镜头(18)的光轴,待刻码盘(20)置于曝光镜头(18)的焦面上,液晶光阀组(16)与微型计算机(19)之间按控制电路框图连接;将事先设计的待刻码盘图案编制成受控脉冲电压信号,利用微型计算机(19)通过控制程序流程控制液晶光阀组(16)上的各个单元的脉冲电压,使其透光或不透光,经曝光镜头(18)成像在待刻码盘(20)上,完成码盘的光刻制造。 |
地址 |
130031吉林省长春市东南湖大路16号 |