图案形成材料、及图案形成装置以及图案形成方法

摘要

本发明之目的为提供可效率佳地形成凹凸追随性与高解像度并存而且无缺陷的高精细图案之图案形成材料，以及具备该图案形成材料的图案形成装置，及使用上述图案形成材料的图案形成方法。因此，提供一种图案形成材料，其特征为在支持体上依顺序具有缓冲层及感光层，该缓冲层的全光线透射率系86％以上且雾值系10％以下，及提供具备该图案形成材料的图案形成装置、使用上述图案形成材料作曝光的图案形成方法。