| 发明名称 | 抛光和/或清洁铜互连和/或薄膜的方法及所用的组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供使用二(全氟烷磺酰基)亚氨酸或三(全氟烷磺酰基)甲基化物酸组合物来抛光和/或清洁铜互连的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1726265A | 申请公布日期 | 2006.01.25 |
| 申请号 | CN200380105924.8 | 申请日期 | 2003.10.28 |
| 申请人 | 3M创新有限公司 | 发明人 | S·克萨里;W·M·拉曼纳;M·J·帕伦特;L·A·扎哲拉 |
| 分类号 | C09G1/02(2006.01);C23F3/00(2006.01);C11D1/00(2006.01);H01L21/321(2006.01);H01L21/288(2006.01) | 主分类号 | C09G1/02(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 沙永生 |
| 主权项 | 1.一种抛光铜互连和/或薄膜的方法，所述方法包括如下步骤：a)提供一种组合物，所述组合物包含：i)至少1重量％的至少一种二(全氟烷磺酰基)亚氨酸，由以下通式所示：<img file="A2003801059240002C1.GIF" wi="340" he="261" />式中，R<sub>f</sub>各自是包含1-12个碳原子的全氟化烷基，它可以是环状或非环状的，可以任选包含链接的或末端杂原子，所述杂原子选自N、O和S；任意两个R<sub>f</sub>可以连接在一起，形成包含全氟亚烷基的环；ii)溶剂；b)提供包括至少一个表面的基材，所述表面具有至少一个铜互连和/或薄膜；c)使所述基材的表面和所述组合物相互接触，形成界面；d)施加作用力，促进所述界面上的铜溶解。 | ||
| 地址 | 美国明尼苏达州 | ||